A "tisztítás" kifejezés hosszú múltra tekint vissza a kínai nyelvben, eredeti jelentése: "tisztává és tisztává tenni", és nagy vonalakban utalhat a szennyeződések eltávolítására és a szennyezés megszüntetésére szolgáló összes folyamatra és technológiára. A megfelelő angol kifejezések közé tartozik a "tisztítás" (a tisztaságot hangsúlyozva) és a "clean" (a tisztaságot hangsúlyozva). Ezért a tisztatér-technika angol kifejezése magában foglalja többek között a "Purification Engineering", a "Clean Engineering" vagy a "Cleanroom Technology" kifejezést. Ez a tág jelentés határozza meg, hogy a tisztatér-mérnökségnek különböző konnotációi vannak a különböző tudományágakban.
A modern tisztatér-technológia, amelynek középpontjában a tisztatér-technológia áll, az 1950-es években kezdődött. A koreai háború alatt az amerikai hadsereg felfedezte, hogy számos elektronikus műszer gyakran hibásan működik a por behatolása miatt, ami ösztönözte a légtisztító technológia fejlesztését, különösen a nagy hatékonyságú részecskeszűrők (HEPA) kutatását és alkalmazását. 1961-ben Willis Whitfield, a Sandia National Laboratories munkatársa javasolta a "lamináris áramlás" (jelenleg hivatalos nevén "egyirányú áramlás") tiszta levegőáramlás-szervezési sémát, amely lehetővé teszi a tisztaterek számára, hogy soha nem látott tisztaságot érjenek el. Ugyanebben az évben az Egyesült Államok légiereje kiadta a világ első tisztatér-szabványát, 1963-ban pedig a FED{11}}STD-209 amerikai szövetségi szabványt, amely a tisztatér-technológiai rendszer kezdeti kialakulását jelezte. Ezt követően, az olyan iparágak gyors fejlődésével, mint az integrált áramkörök és a biomedicina, a tisztatér-mérnöki technológia folyamatosan újult és fejlődött.
Kínában 1984-ben kihirdették a "Tisztatéri tervezési kódexet" (GBJ 73-84), a "Tisztatéri építési és átvételi kódexet" (JGJ 71-90) pedig 1990-ben. Számos felülvizsgálat után nemzeti szabványrendszert alakítottak ki a GB 50073-2013 "C" központi tervezési kóddal. Nemzetközi szinten az ISO/TC209 műszaki bizottság által összeállított ISO 14644 szabványsorozat a közös irányelvek a tisztaterekre és a kapcsolódó ellenőrzött környezetekre vonatkozóan. hazám elfogadta ezeket a szabványokat, és GB/T 25915 sorozatként vezette be.